可自调谐的微波等离子体炬及其自调谐装置

2016-07-18

本发明提供了一种可自调谐的微波等离子体炬及其自调谐装置,微波等离子体炬(4)包括耦合天线(5)、调节件(6)。装置包括微波源,控制模块(2),传动装置(3)。所述微波源与所述耦合天线(5)相连,调节件(6)与所述传动装置(3)相连,传动装置(3)与控制模块(2)相连,控制模块(2)与所述微波源相连。其中,所述微波源产生微波电磁场为微波等离子体炬(4)提供微波能,同时从耦合天线(5)获取微波等离子体炬(4)的反馈信息,微波源将反馈信息中的反射功率值提取出来并反馈给控制模块(2),控制模块依据反射功率值以及预设的参数关系曲线向所述传动装置(3)发出控制信号,传动装置(3)带动调节件(6)移动。